化合物濺射靶材

中諾新材（北京）科技有限公司可以定制加工不同尺寸，不同純度的二元，三元，多元化合物濺射靶材

氧化物靶材Al2O3 MgO Fe2O3 Fe3O4 Ga2O3 Nb2O5 NiO TiO2 ZnO ZrO……

氮化物靶材AlN BN Si3N4 TaN TiN……

碳、硫化物靶材BC SiC WC MoS2 WS2 CdS ZnS Bi2S3 ……

二元化合物靶材ITO AZO TZO GZO IGZO Bi2Se3 Bi2Te3……

多元化合物靶材CIGS PZT BST LSMO……

以上產(chǎn)品純度，99.5-99.99%，可定制不同比例摻雜靶材，可提供圓靶，矩形靶。并且可提供靶材焊接綁定服務(wù)

氧化鋁 Al2O3 99.99 顆粒 粉末

氧化鎂 MgO 99.99 顆粒 粉末

氧化鈦 TiO TiO2 Ti3O5 99.99 顆粒 粉末 壓片

氧化鉿 HfO2 99.99 顆粒 粉末 壓片

氧化鉭 Ta2O5 99.99 顆粒 粉末 壓片

氧化銦 In2O3 99.99 顆粒 粉末

氧化硅 SiO SiO2 99.99 99.999 顆粒 粉末

氧化鋯 ZrO2 99.99 顆粒 粉末 壓片

氧化鈮 Nb2O5 99.99 顆粒 粉末

氧化鋅 ZnO 99.99 顆粒 粉末 壓片

氟化鎂 MgF2 99.99 顆粒 粉末

氟化鐿 YbF3 99.99 顆粒 壓片

氟化釔 YF3 99.99 顆粒 粉末

硫化鋅 ZnS 99.99 顆粒 粉末 壓片

硒化鋅 ZnSe 99.999 顆粒 粉末

鈦酸鑭 La2O7Ti12 99.99 顆粒

鈦酸鋇 BaTiO3 99.99 顆粒

鈦酸鍶 SrTiO3 99.99 顆粒

冰晶石 Na3AlF6 99.99 顆粒

氧化銦錫 ITO 99.99 顆粒 粉末 壓片

背靶綁定服務(wù)

鑒于陶瓷靶材導(dǎo)熱性能不好、易裂的特點，我們建議陶瓷靶材綁定銅背靶。我們采用純銦焊料，高純度無氧銅背靶，進(jìn)行靶材綁定。綁定的靶材受熱均勻，導(dǎo)熱快，可降低靶材碎裂的可能性，提高靶材的使用壽命。

技術(shù)參數(shù)如下

工作溫度（℃） 150

綁定面積 100%全銦焊綁定

粘結(jié)層厚度（mm） 0.2±0.003

導(dǎo)熱系數(shù)（w/mk） 83

熱膨脹系數(shù)（K-1） 32.1x10-6

電阻率（ohm-cm） 8x10-6