脈沖激光技術(shù)在半導(dǎo)體晶圓領(lǐng)域中的應(yīng)用

自上世紀(jì)六十年代第y臺激光器設(shè)備問世以來，關(guān)于激光及其在各個領(lǐng)域的應(yīng)用的研究得到了迅猛的發(fā)展，近20年來，激光制造技術(shù)已滲透入到諸多高科技領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)，其中激光技術(shù)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用是最為廣泛和活躍的領(lǐng)域之一。

近年來光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，高集成度和高性能的半導(dǎo)體晶圓需求不斷增長，硅、碳化硅、藍寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的襯底材料。

隨著晶圓集成度大幅提高，晶圓趨向于輕薄化，傳統(tǒng)的很多加工方式已經(jīng)不再適用，于是在部分工序引入了激光技術(shù)。

在諸多激光技術(shù)中脈沖激光特別是超短脈沖激光在精密加工領(lǐng)域應(yīng)用又尤為廣泛，超短脈沖激光是指激光單個脈沖寬度達到甚至小于10-12秒（即皮秒）這個量級的激光。

由于激光脈沖時間寬度極短，在某個頻率（即一定脈沖個數(shù)）下需要釋放設(shè)定的激光功率，單個脈沖的激光功率就是固定的，將單個脈沖的能量在極短的時間釋放出去，造成瞬時功率極高（兆瓦及以上），瞬間改變材料性質(zhì)，平均功率很低對材料加工區(qū)域熱影響很小的加工效果即激光冷加工。

超短脈沖激光加工具有諸多獨特的優(yōu)勢：

1. 非接觸式加工：激光的加工只有激光光束與加工件發(fā)生接觸，沒有刀削力作用于切割件，避免對加工材料表面造成損傷。

2. 加工精度高，熱影響小：脈沖激光可以做到瞬時功率極高、能量密度極高而平均功率很低，可瞬間完成加工且熱影響區(qū)域極小，確保高精密加工，小熱影響區(qū)域。

3. 加工效率高，經(jīng)濟效益好：激光加工效率往往是機械加工效果的數(shù)倍且沒有耗材無污染。

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二氧化碳激光打標(biāo)機

將二氧化碳和其他輔助氣體充入放電管，當(dāng)在電極上加高電壓，放電管中產(chǎn)生輝光放電，就可使氣體分子釋放激光，二氧化碳激光器有比較大的功率和比較高的電光轉(zhuǎn)換率。

軟件支持格式:打標(biāo)軟件運行于WINDOWS平臺，中文界面，能兼容AUTOCAD、CORELDRAW、PHOTOSHOP等多種軟件的文件格式，如PLT、PCW、DXF、BMP等，同時也能直接使用SHX、TTF字庫。通過電腦隨意設(shè)計圖形，操作簡便，功率由軟件控制，連續(xù)可調(diào)。

二氧化碳激光打標(biāo)機特點：

1、使用二氧化碳玻璃激光器，屬通用機型，后聚焦方式，光學(xué)系統(tǒng)可自由升降、平移。

2、打標(biāo)精度高、速度快 、雕刻深淺隨意控制。

3、激光功率大，能適用于多種非金屬產(chǎn)品進行雕刻及切割。

4、打標(biāo)清晰，不易磨損，雕刻及切割效率高、環(huán)保、節(jié)能。

行業(yè)應(yīng)用: 二氧化碳CO2打標(biāo)機可雕刻多種非金屬材料，廣泛應(yīng)用于皮革、木材、紡織、塑膠、標(biāo)牌、包裝、工藝品、電子,通訊、鐘表、眼鏡、印刷、裝飾等行業(yè)

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飛行激光打標(biāo)與靜止激光打標(biāo)有哪些區(qū)別？

    隨著激光打標(biāo)機技術(shù)的發(fā)展，不斷向各行各業(yè)滲透，logo、公司名稱、型號、專利號、生產(chǎn)日期、批次號、型號、條碼、二維碼的打標(biāo)已經(jīng)廣泛被大家所認(rèn)知。而隨著這種標(biāo)記模式的不斷開發(fā)，在線飛行打標(biāo)也成為一種標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，進入到各類型線纜、包裝、管材、飲料等材料上打標(biāo)。

那么飛行激光打標(biāo)機與靜止激光打標(biāo)機有何區(qū)別呢？

簡單來說，飛行激光打標(biāo)的意思是跟隨流水線工作，與工業(yè)自動化相配合，工件到哪在段時間內(nèi)完成標(biāo)記，是一種自動化的體現(xiàn)。而靜止激光打標(biāo)是一種半自動化打標(biāo)的模式，人工上下料，將工件放到工作平臺，完成標(biāo)記后人工下料。

線纜飛行激光打標(biāo)樣品

而兩者的主要區(qū)別在于核心器件激光器、振鏡、控制軟件的差異。簡單來說，激光器需要更g效額工作，振鏡的速度也要更快，控制軟件需要更加全m。主要的體現(xiàn)在于激光打標(biāo)過程中的打標(biāo)時間，也是判定一款飛行激光打標(biāo)機的主要性能。主要體現(xiàn)在振鏡飛行速度上，其影響主要因素有：

1.激光打標(biāo)機振鏡的各個y時參數(shù)；

2.控制卡處理和傳輸數(shù)據(jù)的速度。

3.振鏡的跳轉(zhuǎn)和打標(biāo)速度；

從中我們可以看到是為何在一些g端應(yīng)用領(lǐng)域中，進口振鏡的使用頻率遠遠高于國產(chǎn)振鏡。推薦進口振鏡SCANLAB，瑞鐳，CTI，國產(chǎn)振鏡金海創(chuàng)。

另外，這個速度與工作幅面也有很大關(guān)系，如振鏡的偏轉(zhuǎn)角度、場鏡的工作范圍等。因此，一款打標(biāo)機的性能衡定，不僅僅在于核心器件激光器，振鏡、場鏡的選擇同樣重要，好比木桶原題，哪一個出現(xiàn)短板都不行。

一般而言對于靜止的要求不會很高，采用的多為國產(chǎn)設(shè)備，需要根據(jù)需求而定，大多數(shù)采用的還是國產(chǎn)激光器和國產(chǎn)振鏡。而對于工業(yè)自動化中的飛行激光打標(biāo)而言，幾乎所有的振鏡均采用進口。

綜合而言飛行激光打標(biāo)機就是速度快、工業(yè)自動化集程度高，無需增設(shè)人工崗位。靜止打標(biāo)需要人工上下料，屬于半自動化加工模式，需要增設(shè)人工崗位。飛行激光打標(biāo)的配置硬件設(shè)備相對靜止激光打標(biāo)的硬件設(shè)備必須要高配。

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