金屬濺射靶材

中諾新材定制加工不同尺寸，不同純度的靶材，產(chǎn)品具備純度高。結(jié)構(gòu)致密，晶粒度小的特點，滿足客戶對高品質(zhì)靶材的需求。

高純金屬靶材，純度99.9-99.9999%?？商峁﹫A靶，矩形靶，管靶等。

常規(guī)金屬靶材Al，Cu，Ti，Ni，Co，V，W，Mo，Ta，Ni

金屬靶材Ag Au Pt Pd Ru Rh Ir

稀土金屬靶材La Ce Pr Nd Sm Eu Gd Tb Dy Ho Er Tm Yb Lu

非金屬靶材B C Si Ge Se Te

合金靶材Ni-Cr Ni-V Ni-Ti W-Ti Ti-Al Cr-Al NiCrAlY……

以上產(chǎn)品純度99.9-99.9999%?？商峁﹫A靶，矩形靶，管靶等。

高純鈧 Sc 99.99 蒸餾態(tài)

高純釔 Y 99.9 還原態(tài)

高純鑭 La 99.5-99.9 電解態(tài) 還原態(tài)

高純鐠 Pr 99.5 電解態(tài)

高純釹 Nd 99.5 電解態(tài)

高純釤 Sm 99.9 蒸餾態(tài)

高純銪 Yb 99.9 蒸餾態(tài)

高純釓 Gd 99.9 還原態(tài)

高純鋱 Tb 99.9-99.99 還原態(tài) 蒸餾態(tài)

高純鏑 Dy 99.9-99.95 還原態(tài) 蒸餾態(tài)

高純鈥 Ho 99.5-99.9 還原態(tài) 蒸餾態(tài)

高純鉺 Er 99.5-99.99 還原態(tài) 蒸餾態(tài)

高純銩 Tm 99.99 蒸餾態(tài)

高純鐿 Yb 99.95 蒸餾態(tài)

高純镥 Lu 99.9 還原態(tài)

濺射靶材：

φ50.8mm φ60mm

 φ80mm  φ101.6mm

其它尺寸圓靶、方靶可定制

顆粒塊狀：

1-10mm 30-50mm

桶裝工業(yè)級原料

棒材：

φ3-25mm，長度定制

背靶綁定服務(wù)

鑒于陶瓷靶材導(dǎo)熱性能不好、易裂的特點，我們建議陶瓷靶材綁定銅背靶。我們采用純銦焊料，高純度無氧銅背靶，進行靶材綁定。綁定的靶材受熱均勻，導(dǎo)熱快，可降低靶材碎裂的可能性，提高靶材的使用壽命。

技術(shù)參數(shù)如下

工作溫度（℃） 150

綁定面積 100%全銦焊綁定

粘結(jié)層厚度（mm） 0.2±0.003

導(dǎo)熱系數(shù)（w/mk） 83

熱膨脹系數(shù)（K-1） 32.1x10-6

電阻率（ohm-cm） 8x10-6