冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力低、抽氣速率大的真空泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優(yōu)勢，被廣泛的應(yīng)用于科學(xué)研究實驗室、乃至工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域，如半導(dǎo)體材料制作、平板顯示器生產(chǎn)/測試設(shè)備、太陽能制造業(yè)、真空鍍膜、熱真空系統(tǒng)等。(4)凝結(jié)層對冷凝泵抽速的影響：冷凝泵在工作一段時間以后，低溫表面上將凝結(jié)一定厚度的固態(tài)氣體層。

式結(jié)構(gòu)：適于埋裝在地下，不會受電動機(jī)熱風(fēng)、空氣溫度和日照等影響，易于保冷；能降低泵的吸上高度，增加灌注頭，提高有效汽蝕余量；其影響主要取決于冷凝層的性質(zhì)，也就是取決于冷凝層的結(jié)構(gòu)和類型。立式結(jié)構(gòu)還有利于排氣，使懸掛軸有足夠高度便于布置軸封裝置，故該泵也稱為立式筒型泵。對稱結(jié)構(gòu)：泵的總體結(jié)構(gòu)力求對稱布置，以便在冷態(tài)下能均勻變形。冷頭一般采用二級機(jī)構(gòu)，一級達(dá)到80K,二級達(dá)到溫度10K。雙層殼體：為了保冷方便和有利于輸送危險介質(zhì)，通常都制成雙層殼體，內(nèi)殼里面承受泵壓，內(nèi)外殼之間是吸入壓力，這樣可適當(dāng)降低內(nèi)殼的強(qiáng)度要求。外殼需做成真空夾層，已達(dá)到隔熱效果。

低溫冷凝泵的實際抽速計算公式式中Pg為被抽氣體壓強(qiáng)(Pa)；Ps為在冷面溫度下，被抽氣體的蒸汽壓強(qiáng)(Pa)；Ts為冷面溫度(K)。    (2)凝結(jié)系數(shù)對冷凝泵抽速的影響：        Sa= a·Spt    (9)式中 a是凝結(jié)系數(shù)，其值受很多因素影響。一般由實驗確定。例如300K的H2O，打在77K冷面上a=0.92；He打在4.2K5A分子篩上a=0.7；H2打在4.2K銅板上a=0.5～0.75等等。    (3)屏蔽通導(dǎo)對抽速的影響：低溫泵為減少低溫介質(zhì)消耗，減輕低溫板的熱負(fù)荷，往往在低溫板周圍加上輻射屏，這時低溫泵的抽速要受到輻射屏流導(dǎo)的影響。    1/Su = 1/Sa + 1/u    (10)式中Su為考慮輻射屏后低溫泵的抽速(L／s);u為輻射屏的通導(dǎo)(L／s)；商品化的低溫泵可以在很小的口徑下提供大的抽速(5)低溫泵是基于低溫吸附而工作的，不需要其他電子材料，不會有波動。Sa為無輻射屏低溫板的實際抽速(L／s)。    (4)凝結(jié)層對冷凝泵抽速的影響：冷凝泵在工作一段時間以后，低溫表面上將凝結(jié)一定厚度的固態(tài)氣體層。對冷凝泵的抽速有一定影響。其影響主要取決于冷凝層的性質(zhì)，也就是取決于冷凝層的結(jié)構(gòu)和類型。冷凝層的導(dǎo)熱率是冷凝層的類型和結(jié)構(gòu)的復(fù)雜函數(shù)。如果沉積速率低，冷凝層可以有一個玻璃狀外表，凝結(jié)層熱傳導(dǎo)好，對抽速幾乎無影響；如果沉積速率高，冷凝層出現(xiàn)類似雪花狀結(jié)構(gòu)，熱傳導(dǎo)不好，會降低抽速，但對捕集非凝結(jié)性氣體是有利的。