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圖中“Surface Tolerance”中主要包含透鏡的表面誤差,例如半徑(Radius)、表面不規(guī)則度(Irregularity)等等。
“Element Tolerance”則包含了透鏡在系統(tǒng)中的位移和傾斜公差。由所給的預設公差分析設定,可以看出:
曲率半徑:傳統(tǒng)的公差測試方法是利用He-Ne激光器照射到double-pass系統(tǒng)中觀察其干涉條紋。本例中,我們使用條紋數(shù)來評估半徑,并且允許待測表面和原器件之間有一個條紋的公差。因為光源為He-Ne激光,因此我們將波長設定為0.6328。注意這并不是系統(tǒng)實際工作時的波長而是測試時所用的波長(實際工作為1離子激光波長為0.5415微米)。
因為表面3的厚度(兩透鏡之間的200mm空氣間隔)可以在組裝和實際使用中調節(jié),所以不應該設定為公差分析中的一部分,表面3的TTHI設定也應該刪除。同時,表面3的厚度將會被設定為補償器,用來調節(jié)波前差的最1小化,設置方法是在Tolerance Data Editor中輸入:COMP 3 0 -0.2 +0.2,代表定義了一個厚度補償器,范圍是-0.2~+0.2mm。
注意圖中A、B、PP點為軸上固定點,其位置分別與未經傾斜或者偏心時透鏡2前、后表面中心位置以及透鏡2中心位置相同。
從LDE中可以看出物體位于無窮遠,光闌位于透鏡1前表面,第六行和第七行為透鏡2的前后兩個表面。為了方便觀察,我們用半徑為無窮大的平面將透鏡分隔開(表面5、9和12)。
以透鏡2前端點為中心傾斜/偏心透鏡2