Aerotech QNP-L系列單軸線性壓電納米定位平臺

關(guān)鍵詞：壓電平臺/納米平臺/壓電陶瓷精密平臺

Aerotech的QNP?系列壓電納米定位平臺以緊湊，高剛度的封裝提供了亞納米級的性能。多種行程范圍（100 μm至600 μm）和反饋選項使其成為從顯微鏡到光學對準的應(yīng)用的理想解決方案。

緊湊包裝中的高質(zhì)量

QNP壓電平臺受精密撓曲的指導，該撓曲使用有限元分析進行了優(yōu)化，以確保高剛度和較長的設(shè)備壽命。最終的設(shè)計提供了出色的剛度和諧振頻率，從而實現(xiàn)了高處理量和快速的閉環(huán)響應(yīng)。此外，這些平臺被設(shè)計為提供出色的幾何性能（直線度和角度誤差），同時最小化了整體平臺的封裝尺寸。

高分辨率和定位精度

所有QNP壓電級均采用獨特的電容傳感器設(shè)計，提供閉環(huán)反饋選項，可實現(xiàn)亞納米分辨率和高線性度。電容式傳感器直接測量定位滑架的輸出，從而實現(xiàn)出色的精度和可重復性。

超精密控制

與Aerotech的Q系列控制器和驅(qū)動器配合使用時，QNP壓電納米定位臺具有亞納米級的定位分辨率和就位穩(wěn)定性（抖動）以及高定位帶寬。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer軟件包等軟件選件提供了許多先進而易于使用的工具，例如Learning Control，Harmonic Cancellation和Command Shaping，從而改善了跟蹤誤差并縮短了分步和穩(wěn)定時間。

使用Aerotech的FlashConfig功能可實現(xiàn)自動參數(shù)和校準識別。平臺會被自動識別，所有操作參數(shù)（包括軸校準數(shù)據(jù)）都將上載到控制器中，以確保安全，準確和真正的“即插即用”操作。

特點

?  行程范圍從100 μm至600 μm

?  設(shè)備壽命長

?  高精度，無摩擦的撓性導向系統(tǒng)

?  借助直接計量電容傳感器，可實現(xiàn)高達0.007％的出色定位分辨率和線性度

?  與其他QNP系列壓電納米定位器的安裝兼容性

?  開環(huán)和真空版本

 
XY雙軸搭配方案

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