潔凈室又稱潔凈室或潔凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有潔凈室，就不可能批量生產(chǎn)污染敏感零件。

在FED-STD-2中，潔凈室定義為具有空氣過濾、分配、優(yōu)化、建筑材料和設(shè)備的房間，其中使用特定和常規(guī)的操作程序來控制空氣中懸浮顆粒的濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)念w粒清潔度水平。

潔凈室是指專門設(shè)計(jì)用于清除一定空間內(nèi)空氣中的顆粒物、有害空氣、細(xì)菌等污染物，將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、風(fēng)速、氣流組織、噪聲、振動(dòng)、采光、靜電等控制在一定需求范圍內(nèi)的房間。也就是說，無論外部空氣條件如何變化，室內(nèi)空氣質(zhì)量都能保持先前所要求的清潔度、溫度、濕度和壓力。

潔凈室的主要功能是控制產(chǎn)品（如硅片）所接觸大氣的清潔度、溫度和濕度，使產(chǎn)品在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無塵凈化水平主要以每立方米空氣中粒徑大于分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)為依據(jù)。也就是說，所謂無塵不是100%沒有任何粉塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，本標(biāo)準(zhǔn)中的粉塵顆粒與我們常見的粉塵相比是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)中，無塵是必然的要求。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

將每立方米0.5μm以下的微塵控制在3500以下，達(dá)到國(guó)際無塵標(biāo)準(zhǔn)a級(jí)。目前，芯片級(jí)生產(chǎn)加工中使用的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求高于A級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，A級(jí)標(biāo)準(zhǔn)主要用于一些更高級(jí)別的芯片生產(chǎn)。微塵量嚴(yán)格控制在每立方米1000粒以內(nèi)，業(yè)內(nèi)俗稱1K級(jí)。