渦輪分子泵的大致原理如下所示。

在氣體分子相互碰撞之前的距離即平均自由行程增大的空間(一般是指0.1Pa以下的真空區(qū)域)內(nèi)，氣體

分子將撞在高速移動的壁上，即氣體分子沖擊著轉(zhuǎn)子葉片。該氣體分子被轉(zhuǎn)子葉片彈出時，以垂直于轉(zhuǎn)子

葉片表面的180°立體角進行反射，與入射方向無關。假設轉(zhuǎn)子葉片表面上沒有發(fā)生熱交換，彈出的氣體

分子速度為其自身的熱運動速度與轉(zhuǎn)子速度的矢量和。由于轉(zhuǎn)子賦予氣體分子的速度由其幾何形狀和轉(zhuǎn)速

而定，因此氣體分子從無方向性的熱運動轉(zhuǎn)換為有方向性的運動。

MAG 中磁懸浮軸承運行中沒有磨損。除了磁懸浮軸承，MAG 還有保護軸承，該軸承保

護轉(zhuǎn)子以防泵有外部振動時與定子發(fā)生機械接觸，并在停泵時支撐轉(zhuǎn)子。保護軸承使用壽命

有限。請遵守以下說明才能達到最大使用壽命。

· 泵運行時，避免振動和沖擊（例如來自其他泵），沖擊尤其有害。如果泵有在機械軸承

上運行的現(xiàn)象，則立刻停泵。

· 避免頻繁開機和關機。

· MAG 不要突然接觸已經(jīng)抽真空的真空室。壓力沖擊會使轉(zhuǎn)子接觸保護軸承，結(jié)果增加

磨損。

· 不要用電源控制MAG 停機。用停機命令。在泵運行的同時切斷電源將使保護軸承發(fā)

生磨損。如果電源意外斷開，重新連接。