無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

    無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵室等級來建造。半導體Fabs傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。在制藥和生物工學工業(yè)，無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性的病毒或細菌的污染之特性。在biotech市場，清洗真正地是一個很重要的企業(yè)。

在設(shè)計電子潔凈室的同時，要確保所有建筑物的建筑面積或空間布局，所有建筑物都必須具有適當?shù)撵`活性，整個區(qū)域的主體結(jié)構(gòu)不應采用承載內(nèi)壁的方式。在電子潔凈室的設(shè)計中，必須通過攻擊來控制整個房間的高度。即使如此，它們的凈高也可以保持在100毫米的基本模量。在設(shè)計電子清潔廠房時，應根據(jù)整個廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性進行設(shè)置，或適合于室內(nèi)設(shè)備與裝修水平的協(xié)調(diào)。