手自動(dòng)探針臺(tái)/12英寸探針臺(tái)/高低溫探針臺(tái)/真空探針臺(tái)/SemiProbe

品牌：SemiProbe

型號(hào)：PS4L M-x

描述：SemiProbe PS4L手動(dòng)探針臺(tái)是模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)明顯操作靈活的手動(dòng)探針臺(tái)。它采用了 SemiProbe 獨(dú)家專利技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了無與倫比的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金費(fèi)用。PS4L 系列探針臺(tái)滿足了客戶對(duì)規(guī)格參數(shù)精準(zhǔn)的要求。與傳統(tǒng)的探針臺(tái)相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺(tái)中所有的基礎(chǔ)模塊-基座，平臺(tái),卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動(dòng)，光學(xué)組件，操縱器等都是可以更換的，這使得 PS4L系列探針臺(tái)以極低的價(jià)格便可滿足多種應(yīng)用需求，為客戶提供了完美的解決方案。

更重要的是，PS4L的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以使探針臺(tái)在一個(gè)基本平臺(tái)的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級(jí)?？筛鶕?jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進(jìn)行現(xiàn)場升級(jí)，由手動(dòng)探針臺(tái)升級(jí)為半自動(dòng)探針臺(tái)，半自動(dòng)探針臺(tái)升級(jí)為全自動(dòng)探針臺(tái)，或者6”升級(jí)為8”，8”升級(jí)為12”，增加密閉測試倉，增加高低溫等，以滿足用戶新的要求。這樣的設(shè)計(jì)理念使得即使當(dāng)晶圓尺寸，自動(dòng)化的程度或者測試要求發(fā)生改變時(shí)，PS4L也無需重新更換新的平臺(tái)，便可用最短的時(shí)效和最經(jīng)濟(jì)的費(fèi)用完成有效的測試。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l 可靈活改變測試尺寸

l 模塊化設(shè)計(jì)，可更換關(guān)鍵部件

l 系統(tǒng)可在客戶現(xiàn)場升級(jí)

l 可升級(jí)為半自動(dòng)探針臺(tái)，或者6”升級(jí)為8”，8”升級(jí)為12” 

l 結(jié)構(gòu)簡潔，方便操作

應(yīng)用范圍：

l 光伏工業(yè)

l 材料科學(xué)

l 光電行業(yè)

l 失效分析

l 通信器件測試

l 微機(jī)電技術(shù)

l 半導(dǎo)體

技術(shù)參數(shù)（型號(hào)：PS4L M-12）：

產(chǎn)品尺寸： 1200mm * 650mm * 900mm

重量：  110Kg

輸入電壓： 110/220V 50/60Hz,20A

真空:    23 Hg or -0.8 bar

卡盤X-Y軸軌道：     行程:＞300mm粗調(diào)，25mm微調(diào)(可定制)

    平面性:±7.5μm

    分辨率:5μm

    支架類型：快速對(duì)準(zhǔn)（標(biāo)配）、同軸/可編程（選配）

卡盤Z軸軌道：行程：＞20mm              

θ移動(dòng)：可轉(zhuǎn)角度：    360°粗調(diào)，>10°微調(diào)

卡盤類型：             真空或機(jī)械夾緊，圓形或方形，三軸，高頻，高壓/高電流，高低溫等

平面性:                   5μm

壓盤：                    鋁和不銹鋼頂部，可拆卸前楔

             360度機(jī)械手放置

             機(jī)械手固定：磁性(標(biāo)準(zhǔn))，真空(可選配真空歧管工具包)

壓盤位移：             可選擇固定和線性調(diào)節(jié)

 線性調(diào)節(jié)范圍：      40mm粗調(diào)，200um微調(diào)

顯微鏡：立體變焦、變焦或復(fù)式顯微鏡

顯微鏡安裝/移動(dòng)：可選吊桿、立柱或橋架安裝；可手動(dòng)或通過程控移動(dòng)

可選配件：包括探針卡，操縱器，操縱臂和基座， 探針，激光，光學(xué)部件，CCTV 系統(tǒng)，隔振臺(tái)，暗箱。

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