波恩儀器銷售德國SENTECH儀器多角度激光橢偏儀SE 400adv 絨面多晶硅和單晶硅減反膜厚測量
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波恩儀器銷售德國SENTECH儀器多角度激光橢偏儀SE 400adv 絨面多晶硅和單晶硅減反膜厚測量
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波恩儀器銷售德國SENTECH儀器多角度激光橢偏儀SE-400adv-絨面多晶硅和單晶硅減反膜厚測量

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品牌 SENTECH
入射角 δ(ψ)=0.002°, δ(Δ)=0.002°
是否進(jìn)口 是
用途 測量單晶硅樣片、多晶硅樣片
主要用途 按需
產(chǎn)品尺寸 按需
產(chǎn)地 德國
質(zhì)保 一年
型號 SE 400adv
商品介紹

波恩儀器銷售德國SENTECH儀器多角度激光橢偏儀SE400adv  絨面多晶硅和單晶硅減反膜厚測量


激光橢偏儀 SE 400adv

激光橢偏儀SE 400adv測量透明薄膜的厚度和折射率指數(shù)，具有測量速度、亞埃級別的厚度精度和折射率測定的精度。多角度測量允許使用激光橢偏儀SE 400adv表征吸收膜特征。

亞埃精度

穩(wěn)定的氦氖激光器保證了0.1埃精度的超薄單層薄膜厚度測量。

擴(kuò)展激光橢偏儀的極限

性能優(yōu)異的多角度手動角度計和角度精度優(yōu)越的激光橢偏儀允許測量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。

高速測量

我們的激光橢偏儀SE 400adv的高速測量速度使得用戶可以監(jiān)控單層薄膜的生長和終點檢測，或者做樣品均勻性的自動掃描。

激光橢偏儀SE 400adv可用于從可選擇的、應(yīng)用特定的入射角度表征單層薄膜和基片。自動準(zhǔn)直透鏡確保在大多數(shù)平坦反射表面的吸收或透明襯底上進(jìn)行準(zhǔn)確測量。多角度測量的完全集成支持(40°—90°,5°步進(jìn))，可用于確定層疊的厚度、折射率和消光系數(shù)。為了補(bǔ)償激光橢偏測量中厚度測量的模糊性，在厚度測量中也采用了多角度測量。

SENTECH激光橢偏儀SE 400adv，用于超薄單層薄膜的厚度測量。小型臺式儀器由橢偏儀光學(xué)部件、角度計、樣品臺、自動準(zhǔn)直透鏡、氦氖激光光源和檢測單元組成。我們的激光橢偏儀SE 400adv的選項支持在微電子、光伏、數(shù)據(jù)存儲、顯示技術(shù)、生命科學(xué)、金屬加工等領(lǐng)域的應(yīng)用。

SE 400adv PV 隨機(jī)攜帶適用于絨面多晶硅和單晶硅的樣品臺。
特別適用于晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量

激光橢偏儀SE 400adv PV

 多角度激光橢偏儀SE 400adv-PV能夠測量薄膜厚度及其光學(xué)常數(shù)，使用632.8nm波長氦氖激光器，具有極高的精確度和準(zhǔn)確度。SE 400adv-PV專門針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量，具有業(yè)內(nèi)最高的精度和穩(wěn)定性。SE 400adv-PV的功能基于橢圓偏振光原理，一種使用激光偏振光的非接觸光學(xué)反射測量方式。其主要特點如下


  • SE 400adv不僅能測量單晶硅樣片，還能測量多晶硅樣片；（我們可提供真實樣片測試報告供參考，用戶也可提供樣片、我們幫助測量）
  • SE 400adv能測量實際工藝線生產(chǎn)的產(chǎn)品、即粗糙表面的“絨片”（如Textured Silicon），這是業(yè)界唯一的；對拋光片的測量精度、準(zhǔn)確度也是業(yè)界第一；
    （我們可提供真實樣片測試報告供參考，用戶也可提供樣片、我們幫助測量）
  • SE 400adv 配有高靈敏度、低噪聲探測器，特別適用于對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強(qiáng)進(jìn)行測量；
  • SE 400adv 可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(shù)（偏振因數(shù)）進(jìn)行測量和評估，提高測量精度；
  • SE 400adv 配置有高穩(wěn)定度補(bǔ)償器，保證了Psi角度的測量范圍為0-90°、Delta角度的測量范圍為0-360°；此外補(bǔ)償器可減小環(huán)境溫度變化帶來的影響，即使Delta為0度仍可提供最小的漂移值和最小的測量誤差；
  • SE 400adv 配置有高精度的自動光學(xué)對準(zhǔn)顯微鏡（ACT），使載物臺的高度、傾斜度調(diào)整精度、靈敏度達(dá)到最高；配置有計算機(jī)控制分析器等精密光學(xué)組件，保證測量的精度；
  • SE 400adv 可進(jìn)行40°－90°范圍內(nèi)的多角度測量；
  • SENTECH 與其中國總代理北京東方中科集成科技有限公司，在國內(nèi)設(shè)有技術(shù)服務(wù)中心，工程師都通過在德國原廠培訓(xùn)、具備很強(qiáng)的技術(shù)能力和豐富的應(yīng)用經(jīng)驗，能為用戶提供完善的售前技術(shù)支持、設(shè)備安裝調(diào)試、現(xiàn)場使用與維護(hù)培訓(xùn)、售后保修維修、應(yīng)用答疑等服務(wù)；
  • 提供中文操作手冊；

規(guī)格:

    ? 激光波長632.8 nm
    ? 150 mm (z-tilt) 載物臺
    ? 入射角度可調(diào)，步進(jìn)5o
    ? 自動對準(zhǔn)鏡/顯微鏡，用于樣品校準(zhǔn)

SE 400advanced軟件特征:

    ? 預(yù)先定義應(yīng)用
    ? 多角度測量
    ? 廣泛的材料數(shù)據(jù)庫
    ? 擬合狀況的圖形反饋
    ? 支持多種語言

基本技術(shù)指標(biāo)：

ψ, Δ精度， 90° 入射角:

δ(ψ)=0.002°, δ(Δ)=0.002°

長時穩(wěn)定性2):

δ(ψ)=±0.1°, δ(Δ)=±0.1°

膜厚精度1)

0.1?,對100nm單晶硅片上的SiO2薄膜標(biāo)準(zhǔn)樣片；

折射率精度1) 

5×10-4對100nm單晶硅片上的SiO2薄膜標(biāo)準(zhǔn)樣片；


1) 精度定義為30次測量的標(biāo)準(zhǔn)差
2) 長時穩(wěn)定性定義為24小時內(nèi)90°位置測量的偏差

選項
?手動（自動）x-y方向移動載物臺，行程150 mm
?地貌圖 選項 (x-y方向, 最大行程200 mm, 帶有真空吸附接口)
?攝象頭選項，用于取代目鏡進(jìn)行樣品對準(zhǔn)
?反射式膜厚儀FTPadvanced，光斑直徑80微米（可適用于光滑透明襯底上 ?模擬軟件）



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公司名稱 北京波恩儀器儀表測控技術(shù)有限公司
聯(lián)系賣家 李經(jīng)理 （QQ：2019288892）
電話 钺钳钺-钼钶钸钺钻钴钺钶
手機(jī) 钳钼钻钺钳钹钳钳钷钳钼
傳真 钺钳钺-钻钹钻钶钶钺钻钳
網(wǎng)址 http://www.beyq1718.com/
地址 北京市昌平區(qū)
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