不同元素的熒光x射線具有各自的特定波長或能量，因此根據(jù)熒光x射線的波長或能量可以確定元素的組成。如果是波長色散型光譜儀，對于一定晶面間距的晶體，由檢測器轉(zhuǎn)動的2e角可以求出x射線的波長入，從而確定元素成份。對于能量色散型光譜儀，可以由通道來判別能量，從而確定是何種元素及成份。但是如果元素含量過低或存在元素間的譜線干擾時，仍需人工鑒別。首先識別出管靶材的特征x射線和強峰的伴隨線，然后根據(jù)能量標注剩余譜線。在分析未知譜線時，要同時考慮到樣品的來源、性質(zhì)等元素，以便綜合判斷。

3、X熒光光譜儀定量分析

X射線熒光光譜法進行定量分析的根據(jù)是元素的熒光X射線強度Ii與試樣中該元素的含量Ci成正比:Ii=Is×Ci式中Is為Ci=100%時，該元素的熒光X射線的強度。根據(jù)上式，可以采用標準曲線法、增量法、內(nèi)標法等進行定量分析。但是這些方法都要使標準樣品的組成與試樣的組成盡可能相同或相似，否則試樣的基體效應(yīng)是指樣品的基本化學(xué)組成和物理化學(xué)狀態(tài)的變化對X射線熒光強度所造成的影響?；瘜W(xué)組成的變化，會影響樣品對一次X射線和X射線熒光的吸收，也會改變熒光增應(yīng)。例如，在測定不銹鋼中Fe和Ni等元素時，由于一次X射線的激發(fā)會產(chǎn)生Nika熒光X射線，Nika在樣品中可能被Fe吸收，使Fe激發(fā)產(chǎn)生Feka。測定Ni時，因為Fe的吸收效應(yīng)使結(jié)果偏低，測定Fe時，由于熒光增應(yīng)使結(jié)果偏高。

WDXRF以其的準確度、精密度和可靠性著稱。這種強大的分析技術(shù)，使其可用于所有形式的工業(yè)應(yīng)用，包括：水泥生產(chǎn)、玻璃生產(chǎn)、、選礦、鋼鐵及有色金屬、石油和石化、聚合物及相關(guān)行業(yè)、制藥、保健產(chǎn)品和環(huán)保等。

WDXRF 光譜儀中，X 射線光管用作直接照射樣品的光源，并且使用波長色散式檢測系統(tǒng)來測量樣品發(fā)出的熒光。 分光晶體根據(jù)波長（而不是能量）來分離 X 射線，可用于識別每種不同元素發(fā)出的特征輻射。 此類分析可以通過逐一（依次）測量不同波長的 X 射線強度來完成，或者在固定位置同時測量所有不同波長的 X 射線強度。 X射線管需要高功率，需要專門的冷卻裝置（水冷或油冷），需要分光晶體及測角儀，因此波譜儀的價格往往比能譜儀高。

土壤是重金屬污染的主要載體，也是重金屬污染防治，修復(fù)的主要目標。摸清土壤污染狀況，監(jiān)測土壤污染動態(tài)是污染防治的基礎(chǔ)。土壤中重金屬污染的分析除了常見的原子吸收，等離子體發(fā)射光譜和等離子體質(zhì)譜法之外，使用zui頻繁的是X射線熒光光譜儀(XRF), 按照儀器設(shè)計與檢測原理的不同，XRF產(chǎn)品可分為能量色散EDXRF與波長色散型WDXRF。其中EDXRF有分為臺式與手持式儀器。

   在固體廢棄物，尤其是廢舊電器產(chǎn)品的重金屬檢測(Rohs)指令也日益重要，在這類應(yīng)用中，臺式EDXRF或便攜手持式XRF經(jīng)常作為有害重金屬元素的初級篩查工具在市場上得以廣泛應(yīng)用。