人們早采用射頻探針技術(shù)與今天的工具是很不相同的，早期探針使用了由一個(gè)很短的線極尖（wire TIp）而逐漸收斂的50-Ω微帶線，通過探針基片上一個(gè)小孔而與被測器件（DUT）的壓點(diǎn)（pad）相接觸。此時(shí)，其技術(shù)難度在于如何突破4GHz時(shí)實(shí)現(xiàn)可重復(fù)測量。雖然有可能通過校準(zhǔn)過程來剔除一個(gè)接觸線極尖相對(duì)較大的串聯(lián)電感的影響，但當(dāng)圓晶片的夾具被移動(dòng)時(shí)，線極尖的輻射阻抗會(huì)有較大的變化。高頻測量使用的極尖設(shè)計(jì)與用于直流和低頻測量的極尖不同，而且必須使50-Ω環(huán)境盡可能地接近于DUT壓點(diǎn)。
村田電纜探針主要用于實(shí)驗(yàn)室評(píng)估。就是把探針與SMA接口延長了，在中間加了一斷細(xì)軟射頻線，長度通常為300mm，測量射頻電纜裝配探針。配合完成后，探針可憑借與連接器接觸點(diǎn)上的夾爪自行站立，配合完成后對(duì)探針施加的任何壓力都可能導(dǎo)致探針脫落，連接受損或電級(jí)剝離。需要細(xì)心使用測試。
常用型號(hào)有MXHS83QE3000,MXHQ87WJ3000,MXHQ87WA3000,MXHQ87PA3000,MXHQ87PK3000，
MXHQ87PP3000,MXHQ87PN3000等。

村田無浮動(dòng)機(jī)構(gòu)的自動(dòng)探針可用于產(chǎn)線大批量測試。探針內(nèi)置在測量裝置內(nèi)，與連接器加壓連接，探針不帶夾爪鎖固功能，因此不會(huì)使連接器受損，探針不帶浮動(dòng)機(jī)構(gòu)，因此測量裝置應(yīng)具備浮動(dòng)機(jī)構(gòu)。
常用型號(hào)有MM126036  MM126038  MM126048,MM126310等。

村田無電纜探針主要用于實(shí)驗(yàn)室評(píng)估，測量電纜能夠與村田探針相連，配合完成后，探針可憑借與連接器接觸點(diǎn)上的夾爪自行站立，配合完成后對(duì)探針施加的任何壓力都可能導(dǎo)致探針脫落，連接受損或電級(jí)剝離。需要細(xì)心使用測試。這類探針一般采用SMA接口進(jìn)行轉(zhuǎn)接。

村田探針主要與帶開關(guān)的高頻同軸連接器和高頻同軸連接器相匹配來測試使用。不同型號(hào)的高頻同軸連接器對(duì)應(yīng)的村田探針型號(hào)也不相同，不同的排列方式也有不同體積的探針選擇。
其他一些相關(guān)的概念
Probe pitch：指的是針尖(Probe Tips)之間的間距，一般在50-1000um之間不等。對(duì)于毫米波頻率的應(yīng)用，針尖間距一般都比較小。
Probe skate :當(dāng)你在Z軸方向往下“按壓”探針時(shí)，當(dāng)探針接觸到DUT，它將在ZY平面彎曲移動(dòng)。通常，這也是我們判斷針是否扎上的一個(gè)現(xiàn)象。
De-embeding :去嵌是在探針出現(xiàn)之前就有的技術(shù)，之前經(jīng)常用在一些標(biāo)準(zhǔn)的分立的夾具測試中。