北京科創(chuàng)鼎新真空技術有限公司主營：氦檢漏設備,氦質(zhì)譜檢漏儀,LNG抽真空設備

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時，打開入口閥1、2，關閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當P1降至20 Pa 時，入口閥2 關閉，入口閥3 打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應時間縮短，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。

科創(chuàng)真空擁有先進的技術，我們都以質(zhì)量為本，信譽高，我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業(yè)務。如果您對氦檢漏感興趣，歡迎點擊左右兩側(cè)的在線客服，或撥打咨詢電話。

氦質(zhì)譜檢漏儀的準確性

一，標準漏孔的自身要符合相關的質(zhì)量要求。標準漏孔能自帶第三方的檢測證書。例如，美國國家計量院NIST；中國國家計量院，或有資質(zhì)的檢定機構(gòu)；德國的DKD等。標準漏孔要通過有標準漏孔檢定資質(zhì)的第三方，進行檢定。以此來保證標準漏孔本身沒有問題。

二，標準漏孔要經(jīng)常檢定、校準。建議每年進行一次校準。尤其是年泄漏率大的標準漏孔，更是要注意，經(jīng)常校準。如果發(fā)現(xiàn)異常，要用外置漏孔校準。

氦質(zhì)譜檢漏儀進展集中體現(xiàn)如下方面

1.智能化：以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動檢測。

2.便捷化：這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業(yè)提供小巧而靈敏性高的設備。

3.自動化程度高：自動校準氦峰，自動調(diào)節(jié)0點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜擇功能，一個按鈕即可完成全檢漏過程。

4.全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。