iGX 干泵真空系統(tǒng)

iGX 干式真空泵系列為 大修之間零維護(hù)現(xiàn)代干泵樹(shù)立了新標(biāo)準(zhǔn)；這 使其成為了世界上的干泵之一，目前已在大多數(shù) 領(lǐng)先的 300mm 工廠中安裝了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太網(wǎng)連接，允許通過(guò)網(wǎng)頁(yè)查看 主要數(shù)據(jù)，同時(shí)包括一套全面的網(wǎng)絡(luò)選項(xiàng)， 可確保泵持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

iGX 泵的峰值速度范圍 很寬，并可以改變以適合各種應(yīng)用條件，包括從清潔 到中等負(fù)載制程。模塊化設(shè)計(jì)允許用戶(hù)對(duì) iGX 干泵 進(jìn)行配置以適合各個(gè)工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用多種安裝 選項(xiàng)，包括工具上、近程和遠(yuǎn)程操作。

通過(guò)使用 iGX 干泵技術(shù)， 整個(gè)工廠通?？梢栽谠O(shè)施成本方面實(shí)現(xiàn) 40%* 的節(jié)省 （與 iL/iH 干泵相比）。  

*基 于包含 200 個(gè)工具、537 臺(tái)泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水閥的 300mm 美國(guó)工廠。

應(yīng)用

目標(biāo)應(yīng)用包括：

PVD

電介質(zhì)刻蝕

導(dǎo)體刻蝕

金屬刻蝕

植入源

客戶(hù)也將 iGX 用于一系列 清潔和輕負(fù)載應(yīng)用。

主要特性和優(yōu)勢(shì)

低功耗和零預(yù)防性維護(hù)，可降低擁有成本

小巧輕便，可使用靈活的 安裝選項(xiàng)

高性能電機(jī)和變頻器驅(qū)動(dòng)裝置

待機(jī)模式使用環(huán)保模式，功耗 更低

高導(dǎo)熱性材料和 優(yōu)良設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)低水流量和高效冷卻 - 那又怎么樣？

精密陶瓷軸承 可確保高負(fù)載容量，因而更加可靠

低振動(dòng)和小于 55 dB(A) 的低噪聲，可以安裝在操作中同附近

泵系列

iGX100

iGX600

iGX1000