北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司主營(yíng)：氦檢漏設(shè)備,氦質(zhì)譜檢漏儀,LNG抽真空設(shè)備

真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點(diǎn)

真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)

1．配置與氣路控制

真空箱：一般為雙工位，兩個(gè)不銹鋼真空箱，開(kāi)門(mén)裝置可采用液壓方式，或加配重的手動(dòng)方式。

工件抽空系統(tǒng)：低真空泵及閥門(mén)，低真空測(cè)量充氮與回收系統(tǒng)：氦氣儲(chǔ)存罐(高壓罐)，氦氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機(jī)，輔壓縮機(jī)，過(guò)濾器以及一些高壓閥和真空閥門(mén)等。

真空箱抽氣系統(tǒng)：為自動(dòng)控制型，由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器)，充氦回收系統(tǒng)，真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動(dòng)檢漏過(guò)程提供參考信號(hào)的壓力傳感器和熱偶計(jì)，同時(shí)，實(shí)施對(duì)整個(gè)系統(tǒng)的工作控制，對(duì)檢漏過(guò)程和結(jié)果顯示。

2.系統(tǒng)檢測(cè)過(guò)程

1)、通過(guò)v1、V4，泵系統(tǒng)對(duì)工件和真空箱抽真空，如果限定的時(shí)間內(nèi)抽到限定的真空度，此時(shí)，電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1，打開(kāi)V2

2)、充氦系統(tǒng)通過(guò)V2對(duì)工件進(jìn)行充氦至核定的壓力，穩(wěn)定，關(guān)閉V2

3)、關(guān)閉V4，打開(kāi)V3、V5，處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏，如果不漏，電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5，打開(kāi)V2對(duì)氦氣進(jìn)行回收。

4)、關(guān)閉V2打開(kāi)V6對(duì)真空箱放氣，開(kāi)啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點(diǎn)檢漏儀檢測(cè)到超過(guò)設(shè)定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報(bào)警，將：工作內(nèi)的氦氣回收,對(duì)真空箱和管道巾的氦氣通過(guò)清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測(cè)效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過(guò)大(不超過(guò)41),清潔泵也同樣。

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用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

1.氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)污染被檢件.使用安全。

2、在氮兩側(cè)的是氫(質(zhì)荷比為2)和雙電荷原子碳(質(zhì)荷比為6)，質(zhì)荷比都與氮相差較大。這樣，它們?cè)诜治銎髦械钠D(zhuǎn)半徑相差也大,容易分開(kāi)，定標(biāo)找氨峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過(guò)，提高了儀器靈敏度。

氦質(zhì)譜檢漏儀

充氦法

的整體檢漏就是可以用這種方法，將放入大型環(huán)模室中，利用環(huán)模設(shè)備的真空系統(tǒng)將環(huán)模抽成真空，先用輔助泵進(jìn)行粗抽和預(yù)抽，在檢漏時(shí)先通過(guò)機(jī)械泵將及充氣管道抽成真空后，將氦氣充入中，壓力保持和工作的壓力一致，開(kāi)啟氦質(zhì)譜檢漏儀用標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)儀器，就可以直接測(cè)量的漏率了。

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