AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和。 

人機工程學設計，操作方便 
?可以自由設置的檢查模式，在設計上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設備的操作簡便性。 
?分別對應FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機型。

堅固、可靠和傳送 
?延續(xù)了上一代機型的堅固性、可靠性和性，能夠可靠的傳送300 mm晶圓。 
?薄片，Warped晶圓皆能搬送。 
?宏觀觀察位置的優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設備的操作舒適性。 

專用宏觀照明裝置 

技術規(guī)格

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