三豐粗糙度輪廓儀CS-5000-H5000CNC-一體機(jī)
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青島卓研測量儀器有限公司
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山東省青島市
三豐表面粗糙度·輪廓測量一體機(jī) CS-5000/H5000 CNC
高精度觸針型CNC表面測量儀可以同時進(jìn)行表面粗糙度和形狀/輪廓的測量。 X1軸和Z2軸的驅(qū)動速度分別為40mm/s和200mm/s,可以高速定位,從而提高了多重輪廓/多工件測量的效率。 X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺,從而可以實(shí)現(xiàn)高分辨力的輪廓/ 形狀測量、表面粗糙度的批量測量。 Z1軸檢出器采用主動控制方式,減少Z1軸動態(tài)測力變化的同時擴(kuò)展了測量范圍。 Z1軸檢出器集成了防碰撞安全裝置,當(dāng)儀器主體與工件或夾具發(fā)生碰撞時,檢測裝置可以自動停止工作。 CS-5000CNC帶有a軸,可以通過電動旋轉(zhuǎn)X1軸連續(xù)測量水平面和傾斜面。 帶有Y軸工作臺的型號,可沿Y軸進(jìn)行多工件定位,從而增加了多工件測量范圍。 可選的外部控制功能(外部I/O),與PLC實(shí)現(xiàn)雙向通信(RS-232C)。
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規(guī)格:
貨號 | CS-5000CNC | CS-H5000CNC | ||
X1 軸 | 測量范圍 | 200mm | ||
分辨力 | 0.00625μm | |||
長度基準(zhǔn) | 激光全息測微計(jì) | |||
驅(qū)動速度 | CNC型 | 40mm/s | ||
操縱桿 | 0 - 40mm/s | |||
測量速度 | 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓) | |||
測量方向 | 向前/ 向后 | |||
直線度 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測針) | (0.1+0.0015L)μm L: 驅(qū)動長度 (mm) | (0.05+0.0003L)μm L: 驅(qū)動長度 (mm) | |
(使用二倍長型測針) | (0.2+0.0015L)μm L: 驅(qū)動長度 (mm) | (0.1+0.0015L)μm L: 驅(qū)動長度 (mm) | ||
精度 (20oC) | ±(0.3+0.002L)μm L: 驅(qū)動長度 (mm) | ±(0.16+0.001L)μm L: 驅(qū)動長度 (mm) | ||
Z1 軸(檢出器) | 測量范圍 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測針) | 12mm | 12μm |
(使用二倍長型測針) | 24mm | 24μm | ||
分辨力 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測針) | 0.004 μm | 0.001 μm | |
(使用二倍長型測針) | 0.008 μm | 0.002 μm | ||
測針針尖垂直運(yùn)動 | 弧形移動 | |||
長度基準(zhǔn) | 激光全息測微計(jì) | |||
精度 (20oC) | (20oC) ±(0.3+|0.02H|)μm H: 測量高度 (mm) | ±(0.07+|0.02H|)μm H: 測量高度 (mm) | ||
測力 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測針) | 4mN (固定) | ||
(使用二倍長型測針) | 0.75mN(固定) | |||
跟蹤角度 | 向上: 60o, 向下: 60o, (根據(jù)表面粗糙度) | |||
測針針尖形狀 | 標(biāo)準(zhǔn)測針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖 | ||
標(biāo)準(zhǔn)球頭測針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍(lán)寶石 2倍測針 | |||
2倍測針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖 | |||
2倍測針 | - | 針尖角度: 60o, 針尖半徑: 2μm, 金剛石針尖 2倍球頭測針 | ||
2倍球頭測針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍(lán)寶石 | |||
測針方向 | 向下 | |||
Z2 軸(立柱) | 行程范圍 | Z2 軸 (立柱, S 型) | 300mm | |
Z2 軸 (立柱, H 型) | 500mm- | |||
分辨力 | 0.05μm | |||
長度基準(zhǔn) | 反射型線性編碼器 | |||
驅(qū)動速度 | CNC型 | 最大200mm/s | ||
操縱桿 | 0 - 50mm/s | |||
基座尺寸 (W×D) | 750×600mm | |||
基座材料 | 花崗巖 |
注:雖然天然石材測量桌的外觀各有不同,但材料的穩(wěn)定性是值得信賴的。