

北京科創(chuàng)鼎新真空技術有限公司
主營產(chǎn)品: 其他行業(yè)專用設備
超高真空腔室加工公司-立式真空腔室加工-科創(chuàng)真空
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北京科創(chuàng)鼎新真空技術有限公司
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經(jīng)營模式
生產(chǎn)加工
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北京市昌平區(qū)
主營產(chǎn)品





影響真空絕緣水平的主要因素
電極資料
真空開關作業(yè)在10-2Pa以上的高真空,因為此刻氣體分子十分稀疏,氣體分子的碰撞游離對擊穿已經(jīng)不起效果,因而擊穿電壓表現(xiàn)出和電極資料有較強的相關性。
真空空隙的擊穿電壓跟著電極資料的不同而不同,研究者發(fā)現(xiàn)擊穿電壓和資料的硬度與機械強度有關。一般來說,硬度和機械強度較高的資料,往往有較高的絕緣強度。比如,鋼電極在淬火后硬度進步,其擊穿電壓較淬火前可進步80%。
此外,擊穿電壓還和陰極資料的物理常數(shù)如熔點、比熱和密度等正相關,即熔點較高的資料其擊穿電壓也較高。比照熱和密度而言亦然。這一問題的實質是在相同熱能的效果下,資料發(fā)作熔化的概率越大,則擊穿電壓越低。

半導體真空腔體制造技術
真空腔體在薄膜涂層、微電子、光學器件和材料制造中,是一種能適應高真空環(huán)境的特殊容器。真空腔體通常包括一系列部品——如鐘形罩、基板、傳動軸以及輔助井——這些構成一個完整的真空腔體。
復雜的真空腔體通常需要定制,即針對應用終端進行專門的設計和制作。某些常見的真空腔體已經(jīng)過預先設計,如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。例如脫氣箱和手套箱一般采用低真空環(huán)境,可用于焊接,或用于塑料制品、復合材料層壓板、封裝組件等的脫氣。
真空設備包含很多組件,如真空腔體,真空密封傳導件,視口設置,真空傳感器,真空顯示表,沉積系統(tǒng),蒸發(fā)源和蒸發(fā)材料,濺鍍靶材,等離子刻蝕設備,離子注入設備,真空爐,法蘭,閥門和管件等。真空設備常用于脫氣,焊接,制備薄膜涂層,生產(chǎn)半導體/晶圓、光學器件以及特殊材料等。

真空腔體
真空腔體的內壁表面吸附大量的氣體分子或其他有機物,成為影響真空度的放氣源。為實現(xiàn)超高真空,要對腔體進行150—250℃的高溫烘烤,以促使材料表面和內部的氣體盡快放出。烘烤方式有在腔體外壁纏繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳篷中。比較經(jīng)濟簡單的烘烤方法是使用加熱帶,加熱帶的外面再用鋁箔包裹,防止熱量散失的同時也可使腔體均勻受熱。

