

北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 其他行業(yè)專用設(shè)備
小型真空腔室加工機構(gòu)-科創(chuàng)真空-半導體真空腔室加工
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北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司
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經(jīng)營模式
生產(chǎn)加工
所在地區(qū)
北京市昌平區(qū)
主營產(chǎn)品






真空腔體加工的注意事項
真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器,真空腔體加工要考慮容積、材質(zhì)和形狀。
超高真空系統(tǒng)主要采用不銹鋼材質(zhì)。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%~20%的低碳鋼,具有優(yōu)良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導電率、放氣率低和導熱率低、能夠在-270~900℃工作等優(yōu)點,在高真空和超高真空系統(tǒng)中,應用較廣。
為了減小腔體內(nèi)壁的表面積,通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統(tǒng)的腔體,更多的是利用電解拋光來進行表面處理。

真空腔體制造技術(shù)
基板指的是一個大的法蘭適配器,可以把一個位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵?;逋ǔS幸粋€位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置,可連接到真空抽氣系統(tǒng)。
脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結(jié)構(gòu),一般帶有鉸鏈接口,可連接不需要高真空環(huán)境的其他裝置,如塑料樣品、血液、粘合劑、化學制品或其他液體的除氣設(shè)備。
輔助井用于連接抽氣系統(tǒng)和鐘形罩。
基地井整合了基板和真空密封頸,用焊接接頭取代一個真空密封件,可以同時實現(xiàn)基板和密封設(shè)備兩個部件的功能。
鐘形罩由圓柱形的主體和一個半球形或球形的端口組成??蛇x材料包括玻璃、金屬和塑料。標準鐘形罩的直徑是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。

氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的?
1. 噴吹法檢漏的原理噴吹法檢漏是利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空,然后在被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣,當被檢產(chǎn)品表面有漏孔時,氦氣就會通過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部,再進入氦質(zhì)譜檢漏儀,檢漏儀會報警并顯示當前漏率值。2.噴吹法檢漏的優(yōu)缺點優(yōu)點:①檢測靈敏度高
②定位準確
③對大容器或復雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏可靠性高
缺點:①漏率檢測只能在一個大氣壓差內(nèi)
②不能準確反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實泄漏狀態(tài)


