北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 其他行業(yè)專用設(shè)備
遼寧氦檢系統(tǒng)設(shè)備改造-科創(chuàng)真空-江蘇氦檢系統(tǒng)設(shè)備供應(yīng)商
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主營產(chǎn)品
氦氣檢漏
氦質(zhì)譜檢漏的檢測精度高,可達到1×10-7Pa·m3/s。電池氦檢前先將電池里的空氣抽掉,然后注入氦氣,用氦質(zhì)譜檢漏儀探測有沒有氦氣漏出,從而判斷電池的氣密性是否完好。電池氦檢一般為兩種方式:一種是在電池生產(chǎn)的中間環(huán)節(jié),即在電池烘干注液之前進行檢漏,電芯在真空箱內(nèi)充氦氣及檢測,此法可以檢測電池蓋板、蓋板焊接及電芯殼體等部位的氣密性是否達標;另一種是在成品環(huán)節(jié)檢漏,電芯在箱外充氦,電芯注入電解液的同時將氦氣充入電芯內(nèi)部,然后將電池放入真空箱內(nèi)進行檢漏。
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檢漏設(shè)備在檢測時需要留意的事項
運用檢漏設(shè)備檢測氣密性的時分,留意不要隨意拔下配管。其在加壓狀態(tài)下,制止取下銜接儀器和減壓閥之間的一個接頭和配管。也正是由于如此,其很多的壓縮空氣吹出,這樣來講的話,其實也便是會對人形成很大的損傷;再者,其在反常狀態(tài)下其實也便是要制止進行運用。
檢漏設(shè)備沒有被測物或者是銜接配管的時分,其實也便是不要進行檢測。否則的話,它從檢漏儀走漏出的很多壓縮空氣來講,這樣來講,其實也便是會對人形成很大的損傷;在走漏測驗完畢的時分,記住把空氣徹底掃除潔凈之后,其實也便是要撤除被測物。
半導體設(shè)備及材料需要檢漏原因
1、半導體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間,耗時耗力;
2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染,對半導體的特性改變并破壞其性能,因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏;
3、一些半導體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。
4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會失效。