北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司主營(yíng)：氦檢漏設(shè)備,氦質(zhì)譜檢漏儀,LNG抽真空設(shè)備

氦氣檢漏設(shè)備的特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

說(shuō)到氦氣檢漏設(shè)備的特點(diǎn)，首先，我們還需要注意核心部件分子泵，使用原裝進(jìn)口的檢漏儀專用的分子泵。美國(guó)AD放大器用于有效降低氦氣檢漏設(shè)備的噪聲并提高氦氣檢漏設(shè)備的靈敏度。 180度非均勻磁場(chǎng)質(zhì)譜儀設(shè)計(jì)用于聚焦和高靈敏度。

氦氣檢漏設(shè)備的檢漏口具有較高的耐壓性，檢漏率范圍廣，可檢出較大的泄漏和較小的泄漏。 離子源燈絲采用氧化釔銥金絲，壽命長(zhǎng)，靈敏度高。 獨(dú)特的三屏切換，信息替換更豐富，檢漏更方便； 它具有快速氦氣清洗功能和快速響應(yīng)功能。

氦氣檢漏設(shè)備可實(shí)現(xiàn)一鍵歸零； 采用全自動(dòng)液晶觸摸彩屏顯示，實(shí)現(xiàn)智能自動(dòng)化，操作更方便，簡(jiǎn)單可靠； 中英文菜單，菜單可以一鍵實(shí)現(xiàn)，實(shí)際使用效果突出。

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。子檢測(cè)器的作用是手機(jī)質(zhì)星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對(duì)運(yùn)算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入?？障到y(tǒng)-般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場(chǎng)的主品。

機(jī)械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會(huì)有油霧排出,污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

氦質(zhì)譜檢漏儀

充氦法

的整體檢漏就是可以用這種方法，將放入大型環(huán)模室中，利用環(huán)模設(shè)備的真空系統(tǒng)將環(huán)模抽成真空，先用輔助泵進(jìn)行粗抽和預(yù)抽，在檢漏時(shí)先通過機(jī)械泵將及充氣管道抽成真空后，將氦氣充入中，壓力保持和工作的壓力一致，開啟氦質(zhì)譜檢漏儀用標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)儀器，就可以直接測(cè)量的漏率了。

科創(chuàng)鼎新以誠(chéng)信為首 ,服務(wù)至上為宗旨。公司專注氦檢漏設(shè)備,公司擁有強(qiáng)大的銷售團(tuán)隊(duì)和經(jīng)營(yíng)理念。想要了解更多信息，趕快撥打網(wǎng)站上的熱線電話！