
Filmetrics-R54-薄膜電阻率測(cè)繪系統(tǒng)-缺陷測(cè)量
價(jià)格
訂貨量(臺(tái))
¥13.00
≥1
店鋪主推品 熱銷(xiāo)潛力款
钳钵钻钴钳钴钷钳钺钼钴
在線客服

翌穎科技(上海)有限公司
店齡5年
企業(yè)認(rèn)證
聯(lián)系人
優(yōu)尼康
聯(lián)系電話
钳钵钻钴钳钴钷钳钺钼钴
所在地區(qū)
上海市浦東新區(qū)
R50電阻率測(cè)量?jī)x
Filmetrics R54 是代表了KLA超過(guò)45年電阻測(cè)量技術(shù)的融合之作。自從KLA公司研發(fā)的電阻率測(cè)試儀問(wèn)世以來(lái),系列產(chǎn)品已經(jīng)獲得了市場(chǎng)的認(rèn)可,也改變了導(dǎo)電薄膜的薄膜電阻和厚度的測(cè)量方式。
新!R54系列
- 測(cè)試點(diǎn)自定義編輯,包括矩形、線性、極坐標(biāo)以及自定義配置
- 可選最多可容納300毫米圓形或A4(210mm*297mm)樣品
- 導(dǎo)體和半導(dǎo)體薄膜電阻,10個(gè)數(shù)量級(jí)范圍適用
- 可配置四探針(4PP)或非接觸式渦流(EC)模式
- 封閉系統(tǒng)便于測(cè)量光敏或者環(huán)境敏感樣品
- 支持15mm 最大樣品高度
- 高精度 X-Y 平臺(tái)
- 較小的 EC 探頭尺寸
- 自動(dòng)EC探針高度誤差校正
- 兼容KLA薄膜電阻測(cè)量探針
標(biāo)準(zhǔn)功能
具有以下功能的自動(dòng)X-Y平臺(tái):
100mm x 100mm行程
200mm x 200mm行程(-200型號(hào))
100mm Z載物臺(tái)行程
傾斜臺(tái),行程+/-5o
無(wú)限數(shù)量的測(cè)量樣本圖中的位置
RsMapper軟件:
測(cè)量自動(dòng)化地圖模式生成器,內(nèi)置的地圖模式生成器使您輕松生成需要測(cè)量的斑點(diǎn)圖案樣品的相關(guān)區(qū)域,從而節(jié)省了數(shù)據(jù)采集期間的時(shí)間。
這只是您可以使用的一些參數(shù)。
進(jìn)行調(diào)整以自定義地圖的屬性:
圓形或正方形地圖
徑向或矩形圖案
中心或邊緣排除
點(diǎn)密度