Filmetrics R54 薄膜電阻率測(cè)繪系統(tǒng) 缺陷測(cè)量 表面粗糙度
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Filmetrics R54 薄膜電阻率測(cè)繪系統(tǒng) 缺陷測(cè)量 表面粗糙度
Filmetrics R54 薄膜電阻率測(cè)繪系統(tǒng) 缺陷測(cè)量 表面粗糙度

Filmetrics-R54-薄膜電阻率測(cè)繪系統(tǒng)-缺陷測(cè)量

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翌穎科技(上海)有限公司

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商品參數(shù)
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商品介紹
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品牌 Filmetrics
是否進(jìn)口 進(jìn)口
產(chǎn)地 美國(guó)
型號(hào) R54
行程 X-Y200mm
最大樣品高度 15mm
測(cè)量方式 自動(dòng)化
樣品尺寸 300毫米圓形或A4(210mm*297mm)
應(yīng)用市場(chǎng) 半導(dǎo)體、封裝、穿戴設(shè)備、導(dǎo)電材料、印刷電路、太陽(yáng)能
測(cè)量結(jié)果顯示 支持2D或3D
商品介紹

R50電阻率測(cè)量?jī)x

        Filmetrics R54 是代表了KLA超過(guò)45年電阻測(cè)量技術(shù)的融合之作。自從KLA公司研發(fā)的電阻率測(cè)試儀問(wèn)世以來(lái),系列產(chǎn)品已經(jīng)獲得了市場(chǎng)的認(rèn)可,也改變了導(dǎo)電薄膜的薄膜電阻和厚度的測(cè)量方式。

從半導(dǎo)體制造到實(shí)現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品,薄膜電阻監(jiān)控對(duì)于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都相當(dāng)重要。R54在功能上針對(duì)金屬薄膜均勻性測(cè)繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測(cè)量以及非接觸式薄膜厚度測(cè)量進(jìn)行了優(yōu)化。?


新!R54系列

    • 測(cè)試點(diǎn)自定義編輯,包括矩形、線性、極坐標(biāo)以及自定義配置
    • 可選最多可容納300毫米圓形或A4(210mm*297mm)樣品
    • 導(dǎo)體和半導(dǎo)體薄膜電阻,10個(gè)數(shù)量級(jí)范圍適用
    • 可配置四探針(4PP)或非接觸式渦流(EC)模式
    • 封閉系統(tǒng)便于測(cè)量光敏或者環(huán)境敏感樣品
    • 支持15mm 最大樣品高度
    • 高精度 X-Y 平臺(tái)
    • 較小的 EC 探頭尺寸
    • 自動(dòng)EC探針高度誤差校正
    • 兼容KLA薄膜電阻測(cè)量探針


    標(biāo)準(zhǔn)功能

    • 具有以下功能的自動(dòng)X-Y平臺(tái):

        100mm x 100mm行程

        200mm x 200mm行程(-200型號(hào))

    • 100mm Z載物臺(tái)行程

    • 傾斜臺(tái),行程+/-5o

    • 無(wú)限數(shù)量的測(cè)量樣本圖中的位置


    RsMapper軟件:

    測(cè)量自動(dòng)化地圖模式生成器,內(nèi)置的地圖模式生成器使您輕松生成需要測(cè)量的斑點(diǎn)圖案樣品的相關(guān)區(qū)域,從而節(jié)省了數(shù)據(jù)采集期間的時(shí)間。

    這只是您可以使用的一些參數(shù)。

    進(jìn)行調(diào)整以自定義地圖的屬性:

    • 圓形或正方形地圖

    • 徑向或矩形圖案

    • 中心或邊緣排除

    • 點(diǎn)密度



    聯(lián)系方式
    公司名稱(chēng) 翌穎科技(上海)有限公司
    聯(lián)系賣(mài)家 優(yōu)尼康
    手機(jī) 钳钵钻钴钳钴钷钳钺钼钴
    地址 上海市浦東新區(qū)