低溫等離子廢氣處理技術(shù)，采用雙介質(zhì)阻擋放電形式產(chǎn)生等離子體，所產(chǎn)生等離子體的密度是其他技術(shù)產(chǎn)生等離子體密度的1500倍，初用于氟利昂類、隆類物質(zhì)的分解處理，后延伸至工業(yè)惡臭、異味、有毒有害氣體處理。

：化學(xué)原理: UV+O2→O -+O* (活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機(jī)物具有極強(qiáng)的氧化作用，對惡臭氣體及其它性異味有立竿見影的清除效果。

第四：利用特制的高能光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體如:氨、三、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC類、苯、、二的分子鏈結(jié)構(gòu)，使有機(jī)或無機(jī)高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉(zhuǎn)變成低分子化合物，如CO2、H?O等。

光氧催化設(shè)備主要可以治理以下多種廢氣：
VOC（揮發(fā)性有機(jī)物）主要包括苯、、二、苯乙烯、三氯乙烯、三、三氯乙烷、（TDI）、二異氰酯等和揮發(fā)性惡臭氣體如不飽和烴（如丁二烯、苯乙烯）、氮化物（如氨、甲基胺、糞臭素）、硫化物（如硫化氫、硫化甲基）、氯烴（如氯仿）、含氧烴（如丙酮）、植物精油（如樟腦油）等化合物。