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凈化車(chē)間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無(wú)塵車(chē)間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無(wú)塵車(chē)間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據(jù)潔凈室車(chē)間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類(lèi)型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

凈化車(chē)間門(mén)窗上的縫隙分為固定縫隙和活動(dòng)縫隙。性質(zhì)不同在凈化車(chē)間門(mén)、窗上所占比例也不同。凈化車(chē)間門(mén)、窗密閉采取的氣密措施也不完全相同。凈化車(chē)間門(mén)窗縫隙的處理一般來(lái)說(shuō)，凈化車(chē)間門(mén)窗大都共同具有三類(lèi)構(gòu)造縫隙。一類(lèi)是樘的組合拼接和樘與凈化車(chē)間門(mén)洞間的安裝縫隙;二類(lèi)是樘與開(kāi)啟扇之間的搭接縫隙;三類(lèi)是玻璃或其他芯板的安裝縫隙。通常所提的凈化車(chē)間門(mén)的空氣泄漏無(wú)非是由上述三種縫隙產(chǎn)生的問(wèn)題。

潔凈室內(nèi)各種表面很容易沾染和繁殖細(xì)菌，室內(nèi)人體也是主要菌源之一，人的呼吸、講話也散步細(xì)菌，在潔凈室中不僅要帶普通口罩，有時(shí)還要用高效過(guò)濾紙制成的口罩，可比前者減少4/5的細(xì)菌發(fā)塵量。消毒滅菌方法：干熱法是在干燥空氣中加熱處理的方法，基于高熱作用下的氧化作用破壞微生物的原理，一般需要的溫度高達(dá)160℃以上，時(shí)間長(zhǎng)達(dá)1H-2H；濕熱法內(nèi)是用高溫蒸汽的滅菌方法，基于濕熱作用下使細(xì)菌內(nèi)蛋白質(zhì)凝固的原理，一般需要的溫度比干熱法低，時(shí)間也短些。