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凈化車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

3、對(duì)于無塵區(qū)域內(nèi)放置微生物耐藥性，使用的消毒劑要定期更換。

4、物料進(jìn)入車間的時(shí)候一定要吹淋，在環(huán)境中使用真空吸塵器初步進(jìn)行吸塵凈化，進(jìn)入無塵室內(nèi)后，再用真空吸塵器擦拭方法進(jìn)一步處理。車間凈化系統(tǒng)沒有運(yùn)行，禁止出入大型物體。

5、GMP江西無塵車間日常需要進(jìn)行消毒滅菌，方法有很多，可以采用干熱滅菌、濕熱滅菌、輻射滅菌、氣體滅菌、消毒劑消毒。

平開凈化車間門扇的縫隙密封：

平開式密閉凈化車間門是潔凈廠房中選用很多的凈化車間門類型，平時(shí)供通行或者運(yùn)輸.火災(zāi)時(shí)供緊急疏散，都很方便。

一般選用成型斷面的彈性材料作為密閉條固定密封在縫處。常用凈化車間門的洞口寬度，雙扇內(nèi)凈化車間門多在1800mm以下，雙扇外凈化車間門多在2100mm以下;洞口高度大抵在2400mm以內(nèi)。

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