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干式真空泵

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。

真空檢漏真空檢漏

干式真空泵主要有下列幾種形式:

雙圓裂片式

雙圓裂片式設計和目前l(fā)iu行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上，一些早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設計由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

三葉圓裂片式

三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小，重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式設計一樣，三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

組合式(羅茨+爪)

組合式(羅茨+爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完全相同。也有些廠家將其后一級改為星型設計，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

外部壓縮型螺桿式

在外部壓縮型螺桿式設計中，使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到xiao，同時使得氣體通路短也簡單。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留的時間也短。雖然這種設計由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復雜的半導體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。

內(nèi)部壓縮型螺桿式

除了使用一對非等距螺桿以外，內(nèi)部壓縮型螺桿式設計和外部壓縮型螺桿式設計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設計由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當?shù)乃?。但在很多工藝中，這種內(nèi)部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學變化而產(chǎn)生固化或液化。

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真空泵

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真空檢漏真空檢漏

真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產(chǎn)品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到jia配置，選擇真空系統(tǒng)時，應考慮下述各點：首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍，必須認真研究確定之。在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的jia工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。

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真空設備檢漏

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真空檢漏真空檢漏

氦質(zhì)譜檢漏技術在真空檢漏領域里不僅能定位、定性、定量檢漏，且具有操作簡便、準確可靠、安全高xiao、成本較低、用途廣泛等特點。采用這種檢漏技術無論從小件到大件，從小系統(tǒng)到大系統(tǒng)檢漏，從確定漏孔檢漏到確定漏率檢漏，都能準確快捷有效。隨著氦質(zhì)譜檢漏技術的不斷發(fā)展和成熟，未來將逐漸滲透到各個高低端行業(yè)領域，應用前景廣闊，因此值得推廣應用。

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