壓電閥在國內的研究和使用相對于國外來說要稍落后一些。隨著液、氣壓系統(tǒng)對控制精度、響應速度、功耗等要求越來越高，壓電閥在國內更多地方被應用和研究，也出現了一些國內自主研發(fā)的壓電閥，下面介紹一些具有代表性的研究成果和應用。

壓電開關閥

   國內對壓電開關閥的研究也較多。浙江大學在2008年提出一種新型壓電開關閥結構，利用壓電晶體高頻響、高輸出力的特性，采用3個壓電晶體執(zhí)行器使閥芯在高壓下高速的打開和關閉（如圖8所示），結合了數字閥的功能，很好地解決了壓電晶體輸出位移過小的問題，并且針對壓電晶體溫度效應的問題對其進行了溫度補償。作者對這種壓電高速開關閥建立了數學模型，并進行了分析結果顯示此種壓電高速開關閥可以實現200Hz的高速響應頻率、20MPa高壓的工作壓力、11L/min大流量的開啟和關閉。

1-閥體；2-壓電堆驅動器；3-柔性鉸鏈擋板；4-壓力彈簧；5-密封薄片；6-進氣噴嘴；7-出氣口；8-進氣口；9-微調螺釘

東莞市日成精密儀器有限公司的產品主要有氣動噴射閥精密點膠系列、壓電噴射閥精密點膠系列、精密涂覆閥系列、螺桿精密點膠系列、熱熔膠噴射系列和焊膏壓電噴印系列產品等等。I/P轉換單元的種類可按空氣消耗量分為：耗氣式和不耗氣式兩種結構。其中由于不耗氣式I/P轉換單元的耗氣時小，氣源壓力易于穩(wěn)定，壓力放大倍數小，改善振蕩現象，因此，不耗氣式的I/P轉換單元常常用于閥門定l位器設計中。

東莞市日成精密儀器有限公司的產品主要有氣動噴射閥精密點膠系列、壓電噴射閥精密點膠系列、精密涂覆閥系列、螺桿精密點膠系列、熱熔膠噴射系列和焊膏壓電噴印系列產品等等。此壓電微閥的主體由一塊絕緣硅印模片和作為致動器的壓電陶瓷疊堆組成。PZT堆疊驅動絕緣硅印模片，從而改變與輸入輸出口所在的派勒克斯耐熱玻璃片之間距離而完成對流量的控制。在其外部有一塊尺寸為1×1×1cm3的微型集成陶瓷封裝，它所具有的零孔隙量能保證在真空環(huán)境里沒有泄漏，并且與環(huán)氧樹脂相結合能給整個閥提供一個完全密封的環(huán)境。