濺射儀 GSL-1100X-SPC-16-3型 等離子三靶濺射儀 濺射鍍膜機

儀器概述：

    GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀是依據二極（DC）直流濺射原理設計而成的最簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。本機特別之處是在一個真空室內安裝了三個靶，旋轉樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實驗室各種復合膜樣品的制備，以及非導體材料實驗電極的制作。

主要技術特點：

  1、設有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。

  2、通過調節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得理想的鍍膜效果。

  3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

  4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。

  5、根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

  6、已通過CE認證。

主要技術參數：