脆性，難熔的金屬材料，我公司采用高純度粉末為原料，通過(guò)熱壓、燒結(jié)、熱等靜壓等工藝成錠，經(jīng)過(guò)熱處理，機(jī)械處理及精密的機(jī)加工工藝，制得晶粒細(xì)小（其平均晶粒尺寸<100μm），組織均勻，致密度高的高品質(zhì)靶材。 

常規(guī)產(chǎn)品如下：

商品名稱純度(%)常規(guī)尺寸

高純鉻 靶材99.5   99.95常規(guī)現(xiàn)貨靶材尺寸：φ50.8mm, φ60mm,  φ101.6mm

靶材常規(guī)厚度2-6mm

可定制加工不同尺寸的圓靶、方靶

高純鎢 靶材99.95  99.999

高純鉬 靶材99.95  99.99

高純鉭 靶材99.95  99.99

高純鈮 靶材99.95  99.99

中諾新材可提供不同形態(tài)的貴(gui)金屬蒸發(fā)材料。常規(guī)規(guī)格如下：

商品名稱常規(guī)尺寸

高純金顆粒 99.999%φ3*3mm φ1mm、φ0.5mm

高純銀顆粒 99.99%φ2*5mm φ1mm、φ0.5mm

高純鉑顆粒 99.99%φ2*5mm φ1mm、φ0.5mm

高純鈀顆粒 99.99%φ2*5mm φ1mm、φ0.5mm

高純釕顆粒 99.95%1-6mm   10-20mm

高純銠顆粒 99.95%φ2*5mm

高純銥顆粒 99.95%φ2*5mm

另外，我公司可提供多種蒸發(fā)用耗材如：鎢絲籃、鎢蒸發(fā)舟，鉬蒸發(fā)舟、鎢坩堝，鉬坩堝，銅坩堝，石墨坩堝，氮化硼坩堝等產(chǎn)品，并且可根據(jù)用戶需求進(jìn)行定制加工。

背靶綁定服務(wù)

鑒于陶瓷靶材導(dǎo)熱性能不好、易裂的特點(diǎn)，我們建議陶瓷靶材綁定銅背靶。我們采用純銦焊料，高純度無(wú)氧銅背靶，進(jìn)行靶材綁定。綁定的靶材受熱均勻，導(dǎo)熱快，可降低靶材碎裂的可能性，提高靶材的使用壽命。

技術(shù)參數(shù)如下

工作溫度（℃） 150

綁定面積 100%全銦焊綁定

粘結(jié)層厚度（mm） 0.2±0.003

導(dǎo)熱系數(shù)（w/mk） 83

熱膨脹系數(shù)（K-1） 32.1x10-6

電阻率（ohm-cm） 8x10-6