電子束蒸發(fā)靶材

中諾新材（北京）科技有限公司可提供種類齊全的熱蒸發(fā)靶材，電子束蒸發(fā)靶材，標(biāo)準(zhǔn)顆粒尺寸為：φ2*5mm，φ3*3mm，φ6*6mm，加料預(yù)熔方便，產(chǎn)品純度99.99-99.999%。并且可提供配套蒸發(fā)舟，蒸發(fā)線圈，坩堝等

貴（gui）金屬材料金顆粒 銀顆粒 鉑顆粒 鈀顆粒

常規(guī)金屬材料鋁顆粒 銅顆粒 鈦顆粒 鎳顆粒 鉻顆粒

合金材料金鍺合金  金鍺鎳合金  金錫合金 鎢鈦合金

配套坩堝銅坩堝 鎢坩堝 鉬坩堝 石墨坩堝 氮化硼坩堝

中諾新材可提供不同形態(tài)的貴(gui)金屬蒸發(fā)材料。常規(guī)規(guī)格如下：

商品名稱常規(guī)尺寸

高純金顆粒 99.999%φ3*3mm φ1mm、φ0.5mm

高純銀顆粒 99.99%φ2*5mm φ1mm、φ0.5mm

高純鉑顆粒 99.99%φ2*5mm φ1mm、φ0.5mm

高純鈀顆粒 99.99%φ2*5mm φ1mm、φ0.5mm

高純釕顆粒 99.95%1-6mm   10-20mm

高純銠顆粒 99.95%φ2*5mm

高純銥顆粒 99.95%φ2*5mm

另外，我公司可提供多種蒸發(fā)用耗材如：鎢絲籃、鎢蒸發(fā)舟，鉬蒸發(fā)舟、鎢坩堝，鉬坩堝，銅坩堝，石墨坩堝，氮化硼坩堝等產(chǎn)品，并且可根據(jù)用戶需求進(jìn)行定制加工。

背靶綁定服務(wù)

鑒于陶瓷靶材導(dǎo)熱性能不好、易裂的特點(diǎn)，我們建議陶瓷靶材綁定銅背靶。我們采用純銦焊料，高純度無(wú)氧銅背靶，進(jìn)行靶材綁定。綁定的靶材受熱均勻，導(dǎo)熱快，可降低靶材碎裂的可能性，提高靶材的使用壽命。

技術(shù)參數(shù)如下

工作溫度（℃） 150

綁定面積 100%全銦焊綁定

粘結(jié)層厚度（mm） 0.2±0.003

導(dǎo)熱系數(shù)（w/mk） 83

熱膨脹系數(shù)（K-1） 32.1x10-6

電阻率（ohm-cm） 8x10-6