跟著小型超聲波清洗機(jī)清洗配備的使用領(lǐng)域越來越遍及，各種通過不時完美和改進(jìn)的別致超聲波清洗配備正在替代已面市的新式配備。兆赫超聲波清洗技能是指選用頻次700KHz—2MHz的超聲波停止清洗。清洗瑣細(xì)一般由壓電換能器擺設(shè)、清洗容器和清洗液、高頻電功率發(fā)生器及把握電路等構(gòu)成，對于某些特定的清洗目標(biāo)，有時還配有熱氣氛烘干、共用清洗架(籃)及清洗液的過濾循環(huán)瑣細(xì)。 目前，國外市場上 已有商用的兆赫超聲波清洗機(jī)。美國Verteq、Imtec、ProSys公司已開宣布這類設(shè)備用于半導(dǎo)體出產(chǎn)線上 ，在對100—300mm硅片的清洗中，可除掉硅片表面上小到0．15μm的細(xì)小顆粒，并且可加快漂洗過 程并有效地阻撓粒子在硅片表面上從頭附著。

近10年來，超聲波清洗機(jī)正執(zhí)政兩個方面開展。其一 是，各種類型的多缸或傳動鏈?zhǔn)交蛏凳匠暻逑闯霎a(chǎn)線相繼面市；其二是，低頻超聲波清洗機(jī)向高頻超聲 波清洗機(jī)的開展。在美國、日本、歐洲以及亞太市場上，多缸式超聲波清洗機(jī)總量已呈明顯上升之勢，高 達(dá)總量的50％，而多工位半自動、全自動傳動鏈?zhǔn)交蛏凳匠暡ㄇ逑淳€體設(shè)備也已上升到總量的40％以上 。