直線馬達(dá)走刀驅(qū)動器的關(guān)鍵優(yōu)勢：

1、走刀速率范疇寬?？蓮?（1）m/s到20m/min左右，數(shù)控機床的快放速率已達(dá)208m/min，而傳統(tǒng)式數(shù)控車床快放速率<60m/min，通常為20～30m/min。2、速率特點好。速率誤差達(dá)到（1）0.01%下列。3、瞬時速度大。直線馬達(dá)較大瞬時速度達(dá)到30g，數(shù)控機床的走刀瞬時速度已達(dá)3.24g，激光加工機的走刀瞬時速度已達(dá)5g，而傳統(tǒng)式數(shù)控車床走刀瞬時速度在1g下列，通常為0.3g。4、精度等級高。選用光纖傳感器反饋控制，精度等級達(dá)到0.1～0.01（1）mm。運用前饋控制的平行線電機驅(qū)動器系統(tǒng)軟件可降低偏差200倍左右。因為健身運動構(gòu)件的動態(tài)性特點好，沒有響應(yīng)靈巧，再加刀具半徑補償操縱的精細(xì)化管理，可保持氧化硅操縱。5、行程安排不受到限制。傳統(tǒng)式的滾珠絲杠傳動系統(tǒng)受滾珠絲杠生產(chǎn)制造加工工藝限定，通常4～6m，更的行程安排必須接線滾珠絲杠，不管從生產(chǎn)制造加工工藝還是在特性上也不理想化。而選用平行線電機驅(qū)動器，電機定子可加長，且生產(chǎn)制造加工工藝簡易，現(xiàn)有大中型高速加工中心X軸將近40m左右。6、構(gòu)造簡易、健身運動穩(wěn)定、噪音小，健身運動構(gòu)件磨擦小、損壞小、使用期長、可以信賴。

淺析直線馬達(dá)選型的重要性

隨著“工業(yè)4.0”和“只能制作”等政策的推進(jìn)，國家加大了對工業(yè)制造的投入與支持。工業(yè)機械自動化不斷發(fā)展，同時帶動了直線馬達(dá)在中國快速成長。直線電機具有高產(chǎn)出，高定位精度，維修方便的特點，滿足了許多工廠的生產(chǎn)需求，提高企業(yè)的生產(chǎn)效率。然而并不是任何情況下應(yīng)用直線馬達(dá)都能取得良好的效果。因此直線電機正確選型是非常重要的。

直線馬達(dá)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)電機系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)有所不同。旋轉(zhuǎn)電機往往通過絲杠、皮帶輪等轉(zhuǎn)

動部件轉(zhuǎn)化為直線運動。而直線電機采用直接驅(qū)動技術(shù)，直線電機的性能起到了決定性的作用。直線電機用戶往往對負(fù)載的運動有一系列的要求。這樣就需要我們?yōu)榭蛻暨x擇一款合適的電機。如果選擇不當(dāng)，則可能達(dá)不到客戶的要求，或者給客戶造成成本不必要的上漲。并不是所有的傳統(tǒng)傳動機構(gòu)都能被直線電機替代，如果工作狀態(tài)不能發(fā)揮直線馬達(dá)的高速性能，這種替代可能是不合理的。

傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)電機可以通過減速機構(gòu)保證功率的正常發(fā)揮，而直線馬達(dá)系統(tǒng)的持續(xù)推力和大推力

力是有限制的，且卻不能通過減速等方式產(chǎn)生更大的力。所以當(dāng)速度很低時，力也不能變大，所以正常的功率不能被發(fā)揮出來。

直線馬達(dá)應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)點

最常見的直線馬達(dá)類型有平板直線電機、U形槽直線電機和圓柱直線電機。圓柱型直線電機即音圈電機。音圈電機具有構(gòu)造簡單、響應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動性好、密封性能好、不怕污染、適應(yīng)性強、運行穩(wěn)定可靠、使用壽命長等優(yōu)點。因此，這種直線馬達(dá)廣泛用于半導(dǎo)體涉及器件和其他發(fā)展領(lǐng)域。

引線連接器

與半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的引線連接器的裝置，一般都在Z軸機構(gòu)和XY工作臺機構(gòu)上使用。Z軸機構(gòu)是通過用金屬線連接電極和引線框而相對于XY平臺上的集成電路芯片上下移動的機構(gòu)。

XY工作臺機構(gòu)是因為連接位置的改變而移動放置集成電路芯片電極和引線框架的工作臺的機構(gòu)。

有效減振器

為保證半導(dǎo)體涉及裝置中的加工精度，對裝置所存放地基的震動以及建在裝置上的驅(qū)動設(shè)備產(chǎn)生的震動都要予以抑制。原先是用彈簧和流體進(jìn)行被動的或主動的震動抑制，因為音圈直線馬達(dá)的構(gòu)造簡單，響應(yīng)性好等優(yōu)勢，并且對檢測的振動能實現(xiàn)抵消作用的操作。這一有效減振器非常實用，由此而贏得積極的推廣。

雙軸十字平臺

隨著工業(yè)4.0的發(fā)展，音圈直線馬達(dá)已成為半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的核心部件。 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)形音圈電機的峰值推力達(dá)到5000N，行程達(dá)到300mm，擺動型音圈電機的峰值轉(zhuǎn)矩達(dá)到50N.M，擺動角度超過120°。音圈直線馬達(dá)將在許多領(lǐng)域贏得更多的應(yīng)用，慢慢取代傳統(tǒng)電機如齒條和螺桿。