化學(xué)氣相沉積CVD備件 HORIBA氣體流量控制器SEC-Z543KVX
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化學(xué)氣相沉積CVD備件 HORIBA氣體流量控制器SEC-Z543KVX
化學(xué)氣相沉積CVD備件 HORIBA氣體流量控制器SEC-Z543KVX

化學(xué)氣相沉積CVD備件-HORIBA氣體流量控制器SEC-Z543KVX

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聯(lián)系人 俞女士

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品牌 HORIBA
產(chǎn)地 日本
適用設(shè)備 氣相沉積設(shè)備
型號 SEC-Z533KVX NF3:40SLM
生產(chǎn)年份 2007
商品介紹

品名:氣體流量控制器(舊)

產(chǎn)地:日本產(chǎn)

用途:安裝在氣相沉積設(shè)備中,自動調(diào)節(jié)和控制氣體流量

原理:采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較,再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等,便實現(xiàn)了質(zhì)量流量控制器的功能

功能:安裝在氣相沉積設(shè)備中,自動調(diào)節(jié)和控制用于控制氣體流量

品牌:HORIBA

型號:SEC-Z543KVX_N2:120SLM



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公司名稱 上海磊微科學(xué)儀器有限公司
聯(lián)系賣家 俞女士
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地址 上海市