地面微振動(dòng)測(cè)試，平臺(tái)微振動(dòng)測(cè)試簡(jiǎn)介：

振動(dòng)敏感設(shè)備的通用振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)在設(shè)計(jì)用于研究、微電子制造和類似活動(dòng)的設(shè)施時(shí)，通常需要具有通用的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)（即適用于設(shè)備類別和活動(dòng)），而不是特定于設(shè)備的特定項(xiàng)目。本文描述了基于三分之一倍頻程振動(dòng)速度譜的一組標(biāo)準(zhǔn)的推導(dǎo)和使用。本文還討論了制定設(shè)備振動(dòng)靈敏度測(cè)量方法和標(biāo)準(zhǔn)的必要性。呼吁設(shè)備制造商和用戶分別制定和要求真實(shí)準(zhǔn)確的規(guī)范。隨著高科技界進(jìn)入“納米時(shí)代”，這一點(diǎn)尤為重要；

對(duì)放置精密加工設(shè)備，精密如激光設(shè)備，激光導(dǎo)程測(cè)量?jī)x，三坐標(biāo)設(shè)備，半導(dǎo)體設(shè)備，光刻機(jī)等設(shè)備平臺(tái)或地面，需要進(jìn)行微振動(dòng)檢測(cè)，我們將出具VC-A,VC-B,···等級(jí)及波形數(shù)據(jù)報(bào)告；

對(duì)機(jī)加工，磨床，CNC機(jī)床地面也有著隔振設(shè)計(jì)規(guī)范，需要對(duì)防止這些設(shè)備的地面或平臺(tái)進(jìn)行振動(dòng)測(cè)試，根據(jù)加工精度，對(duì)應(yīng)不同標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行判定，判斷當(dāng)前振動(dòng)是否超標(biāo)。

無(wú)錫某韓國(guó)企業(yè)，半導(dǎo)體行業(yè)光刻機(jī)，蝕刻機(jī)等精密設(shè)備，對(duì)設(shè)備平臺(tái)單獨(dú)進(jìn)行隔振設(shè)計(jì)，平臺(tái)搭建完成后，對(duì)隔振平臺(tái)進(jìn)行微振動(dòng)測(cè)試，判斷是否符合微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)。

國(guó)內(nèi)知名大學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備研究院，房間周圍有空調(diào)設(shè)備運(yùn)行，需要對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行微振動(dòng)測(cè)試，看空調(diào)運(yùn)行對(duì)平臺(tái)振動(dòng)的影響大小，振動(dòng)是否符合地面微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)。