RCA清洗機是 為帶有腐蝕性清洗準備的，它是由石英加熱缸，塑料槽（NPP）組合而成的一套完整設備。

本設備由2只石英加熱缸，兩套溫度控制系統(tǒng)（石英缸數(shù)量由客戶工藝定），兩個快速噴淋、排水槽（QDR）,兩套噴淋、排水控制系統(tǒng)，一個氫氟酸槽，一個一階梯溢流槽，一個三階梯溢流槽，有兩套吸酸排放器等功能。

主要特點：最大可清洗片子尺寸：￠300mm            槽體數(shù)量可根據(jù)用戶工藝要求配置

      石英缸加熱可達200℃                  快速排放槽（QDR）排放次數(shù)可設定

      槽體結構可選單片盒或者雙片盒結構         傳動分手動或自動

      可選循環(huán)系統(tǒng)功能                    具有故障提示，報警等功能

主要技術指標：客戶用水壓力：0.25～0.3Mpa         排水口：￠60mm

         酸液排放口：1/2PFA管             氮氣壓力：0.25～0.3Mpa 

         氮氣接口管徑3/8PE管             壓縮空氣壓力：0.25～0.3Mpa 

         壓縮空氣接口3/8PE管              電源    AC380V